更新時間:2024-11-15
合測實業為Olympus奧林巴斯金相顯微鏡MX63代理商/特約經銷商,MX63和MX63L顯微鏡系統經過優化,適用于最大尺寸300 mm的晶圓、平板顯示器、電路板以及其他大尺寸樣品的高質量檢測。其采用的模塊化設計使您能夠選擇需要的組件,獲得根據應用定制的系統。
Olympus奧林巴斯金相顯微鏡MX63功能:
先進的分析工具
MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像,讓用戶能夠對樣品進行可靠的缺陷檢測。全新照明技術和PRECiV圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和記錄結果提供了更多選擇。
輕松生成全景圖像:即時MIA
使用多圖像拼接(MIA)功能時,用戶只需轉動手動載物臺上的KY旋鈕,即可快速輕松完成圖像拼接 — 電動載物臺無需進行該操作。PRECiV軟件采用模式識別生成全景圖像,讓用戶獲得更寬的視場。
生成全聚焦圖像:EFI
PRECiV的景深擴展成像(EFI)功能可采集高度超出景深范圍的樣品圖像,并將其合成一幅全聚焦圖像。EFI可配合手動或電動Z軸聚焦裝置使用,以生成高度圖像,輕松實現對結構的可視化觀察。在PRECiV Desktop離線時,也可以生成EFI圖像。
利用HDR同時采集明亮區域和暗光區域
采用先進圖像處理技術的高動態范圍(HDR)可調整圖像內的亮度差異,從而減少眩光。HDR改善了數字圖像的視覺品質,有助于生成具有專業級外觀的報告。
從基本測量到高級分析
測量對于質量、工藝控制和檢測至關重要。鑒于這一點,即便是入門級PRECiV軟件包也融入了交互式測量功能的全部菜單,并且所有測量結果都與圖像文件一起保存以便存檔。此外,PRECiV材料解決方案還為復雜圖像分析提供面向工作流程的直觀界面。只需單擊一下按鈕,即可快速精準執行圖像分析任務。由于大幅縮減了重復任務的處理時間,操作員可以專注于手頭的檢測工作。
Olympus奧林巴斯金相顯微鏡MX63技術參數:
型號 | MX63 | |
光學系統 | UIS2光學系統(無限遠校正系統) | |
顯微鏡鏡架 | 反射光照明 | 白光LED(帶光強度管理器)12 V 100 W鹵素燈,100W汞燈,光導 明場/暗場/反射鏡分光鏡組件手動切換。(反射鏡分光鏡組件為選配件。) 通過手動操作調整3位編碼分光鏡組件 內置電動孔徑光闌(針對所有物鏡預設,暗場自動打開) 觀察模式:明場、暗場、微分干涉對比度(DIC)*1、簡易偏振光*1、熒光*1、紅外和MIX觀察(4個定向暗場)*2 *1 選配分光鏡組件,*2 需使用MIX觀察配置 |
透射光照明 | 透射光照明裝置:需使用MX-TILA或MX-TILLB。 - MX-TILLA:聚光鏡(數值孔徑 0.5)和孔徑光闌 - MX-TILLB:聚光鏡(數值孔徑 0.6)、孔徑光闌和視場光闌 光源:LG-LSLED(LED光源)光導:LG-SF 觀察模式:明場、簡易偏振光 | |
對焦 | 行程:32 mm 每轉行程微調:100 μm 最小分度:1 μm 配上限限位器和粗調手柄扭矩調節 | |
最大載荷重量(包括載物臺和支架) | 8 kg | |
觀察筒 | 寬視場(FN 22 mm) | 正像三目鏡筒:U-ETR4 正像可調傾角三目鏡筒:U-TTR-2 倒像三目鏡筒:U-TR30-2、U-TR30IR(用于紅外觀察) 倒置雙目鏡筒:U-BI30-2 倒像可調傾角雙目鏡筒:U-TBI30 |
超寬視場(FN 26.5 mm) | 正像可調傾角三目鏡筒:MX-SWETTR(光程切換100% [目鏡]:0 [相機] 或0:100%) 正像可調傾角三目鏡筒:U-SWETTR(光程切換100% [目鏡]:0 [相機] 或20%:80%) 倒像三目鏡筒:U-SWTR-3 | |
電動物鏡轉換器 | 明場 帶DIC插槽的電動六孔:U-D6REMC 帶DIC插槽的電動中心補正五孔:U-P5REMC 明場和暗場 帶DIC插槽的電動六孔:U-D6BDREMC 帶DIC插槽的電動五孔:U-D5BDREMC 帶DIC插槽的電動中心補正五孔:U-P5BDREMC 帶真空裝置的電動版:U-D5BDREMC-VA | |
載物臺(X x Y) | 帶內置離合驅動的同軸右手柄:MX-SIC8R 行程:210 x 210 mm 透射光照明區域:189 x 189 mm 帶內置離合驅動的同軸右手柄:MX-SIC6R2 行程:158 x 158 mm (僅適用于反射光 | |
重量 | 約35.6kg(顯微鏡鏡架26kg) |